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Veritas系列保持EM科特電子顯微鏡的高性能高效率,大樣品倉內含5軸共心電動樣品臺,可更輕松地測量大尺寸樣品。
EM科特Veritas系列產品技術亮點:
- 大尺寸樣品分析 Veritas系列可以分析常規SEM無法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓,磁盤
- 無損樣品分析 無需切割即可分析樣品。例如PCB,半導體圖案分析
- 較重樣品分析 能夠分析較重的樣品。例如巖石,鐵礦石
技術指標:
分辨率 |
2nm |
放大倍數 |
x10-x300000 |
電子槍 |
LaB6/CeB6 |
探測器 |
二次電子探測器、背散射探測器 |
真空系統 |
全自動真空系統(<90s) |
顯示模式 |
聚焦模式 預覽模式 |
自動功能 |
聚焦 |
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