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Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列

電子顯微鏡

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產品描述

Veritas系列保持EM科特電子顯微鏡的高性能高效率,大樣品倉內含5軸共心電動樣品臺,可更輕松地測量大尺寸樣品。

 

EM科特Veritas系列產品技術亮點:

  • 大尺寸樣品分析 Veritas系列可以分析常規SEM無法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓,磁盤
  • 無損樣品分析 無需切割即可分析樣品。例如PCB,半導體圖案分析
  • 較重樣品分析 能夠分析較重的樣品。例如巖石,鐵礦石

 

技術指標:

分辨率

2nm

放大倍數

x10-x300000

電子槍

LaB6/CeB6

探測器

二次電子探測器、背散射探測器

真空系統

全自動真空系統(<90s
渦輪分子泵
旋轉葉片泵
電動閥系統

顯示模式

聚焦模式 預覽模式
慢掃模式 成像模式

自動功能

聚焦
亮度/對比度
物鏡光闌搖擺對重
電子槍對重、偏壓、飽和

*僅提供概要性產品信息,這些信息不得構成任何訂單或合同的一部分或視為與相關產品或服務有關的陳述,本公司保留更改任何產品信息或服務的規格、設計或供應條款的權利

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