Smart SE，智能型多功能橢偏儀是一款通用型薄膜測(cè)量工具。測(cè)試速度快，準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n, k）以及薄膜結(jié)構(gòu)特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）。

Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺(tái)在幾分鐘內(nèi)對(duì)450-1000nm的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、建模分析。自動(dòng)化雙軟件操作平臺(tái)，從簡(jiǎn)化的工作流程到高端研發(fā)，滿足不同層次和需求的客戶。

Smart SE是一款性價(jià)比更高的薄膜研發(fā)工具，以經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的價(jià)格提供了研究級(jí)的性能。標(biāo)配一套完整樣品可視化系統(tǒng)，準(zhǔn)確定位分析位置及區(qū)域，7個(gè)不同尺寸的微光斑可用于微區(qū)特征分析。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣，用于復(fù)雜樣本的研究。

Smart SE配置靈活、具備多角度測(cè)量能力，可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對(duì)單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單、快速、準(zhǔn)確表征和分析的工具, 可用于在線原為測(cè)試。Smart Se可以滿足各類應(yīng)用領(lǐng)域，包括微電子，光伏，顯示，光學(xué)涂料，表面處理和有機(jī)化合物等。

性能指標(biāo)

光譜范圍	450nm to 1000nm
光譜分辨率	優(yōu)于3nm
光源	鹵素?zé)艉退{(lán)光LED
測(cè)試時(shí)間	小于1秒到10秒
光斑尺寸	75µm * 150µm, 100µm * 250µm, 100µm * 500µm, 150µm * 150µm, 250µm * 250µm, 250µm * 500µm, 500µm*500µm
入射角	450 to 900 ，步徑50
樣品尺寸	200mm以內(nèi)
樣品準(zhǔn)直	手動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)高度（17mm以內(nèi)）和傾角
外形尺寸	100cm * 46cm * 23cm(WHD)