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應用案例
CASE
無鉛錫基微焊球是微電子專用焊接材料。隨著電子電器產品微型化、高性能發展，電子封裝密度越來越高，無鉛焊料的可靠性要求越來越高。其中球形度、直徑尺寸、尺寸分布、球體表面工藝缺陷、環境試驗特征缺陷檢查都需要大量掃描電鏡測試。
太陽能電池又稱為“太陽能芯片”或“光電池”，是一種利用太陽光直接發電的光電半導體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到，瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產生電流。在物理學上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對電池電性能影響很大，需要掃描電鏡進行觀測，從而控制電池質量。 ? 儀器介紹： ? EM科特掃描電鏡分為 CUBE系列掃描電鏡、GENESIS系列掃描電鏡、VERITAS系列掃描電鏡。 ? 試驗方法： 取不同工藝進程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察。快速觀察模式，照相時間 10s ? 結論： EM科特掃描電鏡，可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測需要。采用CUBE臺式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡，需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片，無損檢測。 ? 1、晶圓制絨結構掃描電鏡圖像 ? 2、晶圓表面Saw damage etching 3、鋁漿電極掃描電鏡圖像 ? ? ? ? ? 4、銀漿電極掃描電鏡圖像 ? 20000x 50000x
水化硅酸鈣在硅酸鹽水泥水化產物中，體積和重量均占首位，對混凝土的一系列宏觀性能有重大影響，是水泥工作者研究重點。凝膠顆粒細小，處于膠體粒子尺寸范圍（1‐100nm），光學顯微鏡無法觀察，掃描電鏡是重要的檢測手段。
